平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材。平面靶材通过螺纹等方式与溅射设备相连接,在真空条件下溅射成膜层附着于基片上,再通过各种手段(刻蚀)对薄膜加工,以满足不同需要。
产品名称:钛板靶 钛平面靶材 钛溅射靶材
材质:纯钛 (TA1/TA2),高纯钛(99.95%,99.99%,99.995%,99.999%)
纯度:≥99.5%
晶粒度:≤100um
生产工艺:热等静压工艺(HIP)
应用领域:装饰行业、建筑玻璃、汽车玻璃、低辐射玻璃、平面显示器、光学工业、光数据存储行业等。