旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的,里面装有静止不动的磁体,以慢速转动。其优点是利用率高(70%以上),缺点是造价高。
产品名称:钛管靶(钛旋转靶材)
材质:纯钛
纯度:≥99.5%
晶粒度:≤100um
生产工艺:锻造、CNC加工
用途:太阳能电池,建筑玻璃,汽车玻璃,半导体,平板电视等。
产品规格:
外径-157/内径-133×3191mm;
外径-157/内径-133×3855mm.
外径-180/内径-160×1800mm
也可以根据客户的具体要求定做加工。
真空镀膜靶材利用率:
靶材形状 | 靶材利用率 |
平面靶材 | 33%-40% |
旋转靶材 | 70%-80% |
多弧靶材 | 65%-75% |
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