旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的,里面装有静止不动的磁体,以慢速转动。其优点是利用率高(70%以上),缺点是造价高。
产品名称:锆管靶,锆旋转靶材
牌号:Zr702(R60702),Zr705(R60705)
纯度:≥99.95%
晶粒度:≤100um
用途:太阳能电池,建筑玻璃,汽车玻璃,半导体,平板电视等。
产品规格:
外径-157/内径-133×3191mm;
外径-157/内径-133×3855mm.
外径-180/内径-160×1800mm
也可以根据客户的具体要求加工。
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