平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材。平面靶材通过螺纹等方式与溅射设备相连接，在真空条件下溅射成膜层附着于基片上，再通过各种手段（刻蚀）对薄膜加工，以满足不同需要。
产品名称：钛铝靶材
常规比例：
原子比（at%）：20/80 30/70 33/67 40/60 50/50 60/40 75/25
常规尺寸（mm）
￠100*40/100*32、￠98*45/￠98*40、￠95*45、￠63*40/63*32、
生产工艺：热等静压HIP
靶材纯度>99.7%（2N7）
相对密度>99%
注：其他比例及尺寸根据客户要求定制
真空镀膜靶材利用率：
靶材形状 | 靶材利用率 |
平面靶材 | 33%-40% |
旋转靶材 | 70%-80% |
多弧靶材 | 65%-75% |
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